Исследование свойств прозрачных проводящих оксидов, полученных методом спрей-пиролиза

Тимур Олегович Зинченко; Екатерина Анатольевна Печерская

Авторы

Тимур Олегович Зинченко Пензенский государственный университет
Екатерина Анатольевна Печерская Пензенский государственный университет

Ключевые слова:

прозрачные проводящие оксиды, спрей-пиролиз, пиролиз аэрозолей, диоксид олова, сурьма, прозрачность, проводимость, поверхностное сопротивление, раствор

Аннотация

Прозрачные проводящие оксиды (ППО) — материал на основе оксида металла, обладающий высокими показателями прозрачности и проводимости. Однако традиционные методы получения такого рода покрытий имеют ряд недостатков, в частности они ограничены использованием вакуума, что повышает стоимость как самой установки, так и получаемых покрытий. Также само оборудование сложно в использовании. Поэтому принято решение использовать метод спрей-пиролиза или пиролиза аэрозолей. Также на сегодняшний день активно идет поиск альтернативного материала оксиду индия-олова, поскольку этот материал довольно редкий и имеет высокую стоимость. В работе предложен диоксид олова-сурьмы. Проведенные исследования показывают, что при отработанной технологии данный материал можно использовать в качестве прозрачного проводящего оксида. Цель работы: разработка ИУС для синтеза ППО методом спрей-пиролиза, для применения в производстве солнечных элементов, умных стекол, органических светодиодов, чувствительных элементов для газовых сенсоров, покрытия для LCD-экрана, сенсорных экранов.

Биографии авторов

Тимур Олегович Зинченко, Пензенский государственный университет

Аспирант Пензенского государственного университета.

Екатерина Анатольевна Печерская, Пензенский государственный университет

Доктор технических наук, профессор кафедры Нано- и микроэлектроника, заместитель декана по научной работе факультета приборостроения, информационных технологий и электроники Пензенского государственного университета.

Библиографические ссылки

Зинченко Т.О. Анализ методов получения прозрачных проводящих покрытий / Т.О. Зинченко, Е.А. Печерская // Информационные технологии в науке и образовании. Проблемы и перспективы: сб. науч. ст. Всерос. межвуз. науч.-практ. конф.; под ред. Л. Р. Фионовой. — Пенза, 2018. — С. 258–260.

Зинченко Т.О. Анализ материалов, используемых для производства прозрачных проводящих покрытий / Т.О. Зинченко, Е.А. Печерская // Информационные технологии в науке и образовании. Проблемы и перспективы: сб. науч. ст. Всерос. межвуз. науч.-практ. конф. (г. Пенза, 14 марта 2018 г.) / под ред. Л.Р. Фионовой. — Пенза: Изд-во ПГУ, 2018. — С. 256–258.

Зинченко Т.О. Разработка микропроцессорной системы управления установкой для нанесения тонкопленочных покрытий методом спрейпиролиза / Т.О. Зинченко, Е.А. Печерская // Информационные технологии в науке и образовании. Проблемы и перспективы: сб. науч. ст. IV ежегодной межвуз. науч.-практ. конф. — 2017. — C. 288–290.

Timur Zinchenko, Ekaterina Pecherskaya, Dmitriy Artamonov. The properties study of transparent conductive oxides (TCO) of tin dioxide (ATO) doped by antimony obtained by spray pyrolysis // AIMS Materials Science, 2019, 6(2): 276-287. doi: 10.3934/matersci.2019.2.276.

Electrical Properties of Transparent Conductive Ato Coatings Obtained by Spray Pyrolysis / T.O. Zinchenko, V.I. Kondrashin, E.A. Pecherskaya et al. // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 1. Сер. «International Conference on Materials, Alloys and Experimental Mechanics, ICMAEM 2017». - 2017. - P. 012255.