Исследование свойств прозрачных проводящих оксидов, полученных методом спрей-пиролиза - Зинченко, Тимур Олегович; Печерская, Екатерина Анатольевна (Теория и практика проектного образования, 2020)
Прозрачные проводящие оксиды (ППО) — материал на основе оксида металла, обладающий высокими показателями прозрачности и проводимости. Однако традиционные методы получения такого рода покрытий имеют ряд недостатков, в частности они ограничены использованием вакуума, что повышает стоимость как самой установки, так и получаемых покрытий. Также само оборудование сложно в использовании. Поэтому принято решение использовать метод спрей-пиролиза или пиролиза аэрозолей. Также на сегодняшний день активно идет поиск альтернативного материала оксиду индия-олова, поскольку этот материал довольно редкий и имеет высокую стоимость. В работе предложен диоксид олова-сурьмы. Проведенные исследования показывают, что при отработанной технологии данный материал можно использовать в качестве прозрачного проводящего оксида. Цель работы: разработка ИУС для синтеза ППО методом спрей-пиролиза, для применения в производстве солнечных элементов, умных стекол, органических светодиодов, чувствительных элементов для газовых сенсоров, покрытия для LCD-экрана, сенсорных экранов.